集成电路
在集成电路制程的洁净室环境中,会产生气态分子污染物 (AMC)。AMC可能会在制程的多个关键工艺中产生危害,影响产品的良品率、性能及可靠性;如对晶片表面造成污染,导致连接线腐蚀等特性,从而危及产品质量 。因此,控制 AMC 对于在集成电路洁净室中保持产品良率至关重要。
化学过滤器安装在新风处理机组(MAU)和风机过滤单元(FFU)上,通过物理吸附和化学吸附有效控制洁净室内酸性气体、碱性气体和VOC的浓度,保证产品的制造在洁净环境下进行。